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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03174733(A) 申请公布日期 1991.07.29
申请号 JP19890313372 申请日期 1989.12.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAGARA KAZUHIKO;KAWAMOTO YOSHIFUMI;KITSUKAWA GORO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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