化学机械硏磨机之喷洒装置（一）

摘要

一种化学机械研磨机之喷洒装置(一)，包含一基座及至少一喷洒单元。该基座具有一定位面及一设于内部的导孔，该导孔具有至少一连通至该定位面的出口及一相反于该出口的入口，该喷洒单元具有一对应该出口且固设于该基座之定位面的固定端、一相反于该固定端的活动端及一由该固定端连通至该活动端且与该出口相连通的导流道，操作该活动端可使该活动端相对于该固定端产生万向转动，且可依研磨加工需求而调整该导流道的喷出方向。

主权项

一种化学机械研磨机之喷洒装置(一)，包含：一基座，具有一定位面及一设于内部的导孔，该导孔具有至少一连通至该定位面的出口及一相反于该出口的入口；及至少一喷洒单元，具有一对应该出口且相对于该基座之定位面产生定位的固定端、一相反于该固定端的活动端及一由该固定端连通至该活动端且与该出口相连通的导流道，操作该活动端可使该活动端相对于该固定端产生万向转动。