| 主权项 |
一种防蚀性光阻剥离剂组成物，其系含有极性有机溶剂(A)、有机胺化合物(B)及由芳香族聚羟基化合物与糖类之组合所构成的防蚀剂(C)的防蚀性光阻剥离剂组成物，其特征系该极性有机溶剂(A)为选自醯胺系溶剂、二甲基亚碸(DMSO)、二乙二醇单丁基醚(BDG)所选出之一种以上，该有机胺化合物(B)为选自单乙醇胺、N-甲基乙醇胺及N,N-二甲基乙醇胺之1种以上，该防蚀剂(C)之一方之芳香族聚羟基化合物为以下述一般式(a)表示者，另一方的糖类为选自木糖醇、山梨糖醇、阿糖醇、甘露糖醇、葡萄糖及半乳糖之1种以上，且相对于前述极性有机溶剂(A)、有机胺化合物(B)及防蚀剂(C)之合计量，前述极性有机溶剂(A)之含量为20~98质量%、前述有机胺化合物(B)之含量为1~79质量%及前述防蚀剂(C)之含量为0.001~1质量%，Rm-Ar-(OH)n…(a)(式中，R系烷基或芳基，Ar系芳香族烃结构，m系0~4之整数，n系2~6之整数)。 |
