用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置

摘要

本发明公开了一种用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：根据微机械陀螺输出的电压信号生成与微机械陀螺的驱动模态固有频率相同且与驱动微机械陀螺的交流驱动电压同相的低频信号，将所述低频信号作为直流偏置电压加载到并联在微机械陀螺的驱动极板间的并联电容上，通过直流偏置电压和交流驱动电压、驱动高频正弦载波共同驱动微机械陀螺；装置包括低频信号获取电路和并联电容，并联电容并联在微机械陀螺的驱动极板间。本发明能够克服微机械陀螺加工精度误差引起的驱动电容不匹配而引起的驱动不稳定、提升微机械陀螺的检测精度和可靠性。

主权项

一种用于微机械陀螺的驱动稳定性提升方法，其特征在于实施步骤如下：1)预先在微机械陀螺的驱动极板间布置并联电容，使得驱动极板的正极等效电容C_d+、负极等效电容C_d‑两者的电容值相等；2)将微机械陀螺输出的电压信号经调制解调、移相生成低频信号，微机械陀螺的驱动信号由直流偏置电压、交流驱动电压和驱动高频正弦载波三部分组成，所述低频信号与微机械陀螺的驱动模态固有频率相同、与驱动微机械陀螺的交流驱动电压同相；3)将所述低频信号加载到并联在微机械陀螺的驱动极板间布置的并联电容上。