一种制备超净高纯硝酸的方法

摘要

本发明提供一种高效、工业化批量生产超净高纯试剂硝酸的方法，将90wt%以上的工业硝酸加热精馏，经高纯水稀释成为中间品；中间品通过α-ZrP离子交换柱进行离子交换；再加热精馏，高纯氧气吹白罐，经微滤器超净过滤后，得到超净高纯试剂硝酸。通过α-ZrP离子交换柱和AMoP/SiO₂离子交换柱进行阳离子交换，实现了使用工业硝酸两级精馏生产SEMI-C8级超净高纯试剂硝酸的目的。

主权项

一种制备超净高纯硝酸的方法，其特征在于包含以下步骤：A、一次精馏：将90wt%以上的工业硝酸通过过滤，预热后进入精馏塔中加热精馏，控制回流比为3～8︰1，一次精馏产生的浓硝酸经高纯水稀释，当其d₄²⁰=1.41～1.42g/ml时，成为中间品；B、离子交换：中间品通过α‑ZrP离子交换柱进行离子交换； C、二次精馏：离子交换后的中间品加入到精馏塔中加热精馏，控制回流比为3～8︰1，二次精馏产物冷却后进入高纯氧气吹白罐，对其中溶解的NO₂、NO进行氧化吹白，经微滤器超净过滤后，得到超净高纯试剂硝酸。