放射线检测器及放射线检测器的制造方法

摘要

一种放射线检测器，其特征为依序积层有主动矩阵基板、电阻膜及非晶形硒层，前述主动矩阵基板，系二维排列有累积藉载子之移动所感应之电荷的像素，并从前述像素每一者读出信号；前述电阻膜系限制在该主动矩阵基板与非晶形硒层之间流动的电流；前述非晶形硒层系将藉放射线的射入而产生载子；前述电阻膜系积层于已进行氮成分氧化处理之前述主动矩阵基板的上面上。

主权项

一种放射线检测器，系检测出放射线，该放射线检测器系包含以下的要素：主动矩阵基板，系二维排列有累积藉载子之移动所感应之电荷的像素，并从该像素之每一者读出信号；电阻膜，系限制在前述的主动矩阵基板与后述的非晶形硒层之间流动的电流；非晶形硒层，系依放射线的射入而产生载子；按照该主动矩阵基板、该电阻膜及该非晶形硒层之顺序积层，该电阻膜系积层于氮成分已成为氧化状态之该主动矩阵基板的上面上。