表面轮廓侦测装置及其对位方法以及全口径量测资料的撷取方法

摘要

一种表面轮廓侦测装置，系侦测一目标物的表面轮廓，目标物具有一目标物对称轴，表面轮廓侦测装置包括一波前侦测单元、一驱动单元以及一旋转单元。波前侦测单元具有一影像感测器且发射一侦测光束。驱动单元具有复数平台移动目标物或波前侦测单元。旋转单元具有一旋转轴，且设置于驱动单元之其中一平台上，目标物固持于旋转单元。在量测目标物时，旋转单元旋转目标物且影像感测器同时曝光并撷取从目标物反射之侦测光束所形成之一量测资料。本发明亦揭露一种表面轮廓侦测装置的对位方法以及全口径量测资料的撷取方法。

主权项

一种表面轮廓侦测装置，系侦测一目标物的表面轮廓，该表面轮廓侦测装置包含：一波前侦测单元，具有一影像感测器且发射一侦测光束；一驱动单元，具有复数平台移动该目标物或该波前侦测单元；以及一旋转单元，具有一旋转轴，且设置于该驱动单元之其中一平台上，该目标物固持于该旋转单元，其中在量测该目标物时，该旋转单元旋转该目标物且该影像感测器同时曝光并撷取从该目标物反射之该侦测光束所形成之一量测资料。