发明名称 分光模组
摘要 本发明之分光模组,系于与绕射层8一体形成之周缘部11之平面11a上形成有对准标记12a、12b、12c、12d,将透镜部7安装于基板2时,藉由将该等对准标记12a、12b、12c、12d相对基板2进行位置对准,而例如不会受透镜部7之曲率半径之误差等影响地,使绕射层8对光检出元件4之光检出部4a正确对准。特别是,藉由将对准标记12a、12b、12c、12d形成于平面11a,可藉由图像识别正确地检出该对准标记12a、12b、12c、12d之位置,藉此可进行正确对准。
申请公布号 TWI470193 申请公布日期 2015.01.21
申请号 TW097125465 申请日期 2008.07.04
申请人 滨松赫德尼古斯股份有限公司 日本 发明人 柴山胜己;能野隆文;铃木智史;海慕特 特基曼;戴特玛 席勒;欧里其 史塔克
分类号 G01J3/02 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种分光模组,其特征包含:光透过部,其使从其一方之表面入射之光透过之基板;分光部,其设置于前述光透过部之另一方之表面上,将透过前述光透过部之光进行分光而反射至前述一方之表面之侧;及光检出元件,其设于前述一方之表面之侧,将藉由前述分光部分光而反射后之光检出;且前述分光部包含:沿前述光透过部之凸曲面而形成之绕射层、于前述绕射层之表面所形成之反射层、及于前述光透过部之前述凸曲面所形成之周缘部;前述周缘部系用与前述绕射层相同之材料,以包围前述绕射层之周缘之方式而与前述绕射层一体地形成。
地址 日本