| 发明名称 | 蒸镀线源 | ||
| 摘要 | 本发明属于蒸镀领域，公开了一种蒸镀线源，包括外壳和设置在外壳中的坩埚，所述坩埚包括锅体和喷嘴，所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置，所述外壳和锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。本发明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置，可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗，由于外壳内壁减少了受加热装置的热辐射，使用寿命延长。 | ||
| 申请公布号 | CN104294219A | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN201410400453.3 | 申请日期 | 2014.08.14 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 发明人 | 肖昂 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;黄灿 |
| 主权项 | 一种蒸镀线源，其特征在于，包括外壳和设置在外壳中的坩埚，所述坩埚包括锅体和喷嘴，所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置，所述外壳和锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||