| 主权项 |
1.一种洗净装置,系包含有上方呈开口的有底筒状且备有可把上端开口气密地堵塞之盖的洗净槽(1),贮留用来送入该洗净槽(1)内部之溶剂的贮留槽(3),连结该贮留槽(3)与洗净槽(1)并将溶剂从贮留槽(3)供给至洗净槽(1)之给液管(4),以及把在洗净槽(1)内洗净被洗净物(2)后之液状溶剂送回至贮留槽(3)内之手段者;其特征为包括:一蒸气排出管(24),接续于洗净槽(1);一真空帮浦(23),插入于该蒸气排出管(24);一蒸馏器(14),系备有在下方具有用来蒸发液状溶剂的加热器18,以及在上方具有冷却器(20)的凝缩器16,且,接续于前述蒸气排出管(24),接收由真空帮浦(23)所排的洗净槽内残留溶剂蒸气者;一排气管(30),系接续于前述凝缩器(16,依次备有内设有第二冷却器(31)的第二凝缩器(32),及过滤器(29);及一通路(13),系将凝缩器(16)接续于贮留槽(3),以便把藉由蒸馏器(14)的凝缩器(16)凝缩之液状溶剂,送入贮留槽(3)内者。2.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中该排气管具有一第二凝缩器。3.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中该洗净槽接续有另外之一蒸发器,该蒸发气系用以将溶剂蒸气送入洗净槽上部空间,此外该蒸发器并具有一加热器。4.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中该洗净槽并接续有一具有可自由开闭之阀的吸气管。5.如申请专利范围第3项之洗净装置,并包含有一用以检出洗净槽内之压力的压力感测器,及,一根据该压力感测器之出力而控制加热器之发热量及前述溶剂排出装置之排出置的至少一边之控制器,此控制器可控制溶剂之排出置在溶剂蒸发之供给量以上,而将洗净槽内之压力维持负压。6.如申请专利范园第3项之洗净装置,包含用以检出洗净槽内压力之感测器,及,根据此感测器之出力以控制由前述另一蒸发器流向洗净槽之溶剂蒸气流置以维持洗净槽内压力于负压之控制器。7.如申请专利范围第3项之洗净装置,包含用以检出洗净槽内压力之感测器,及,根据此压力感测器控制溶剂排出装置之排出量俾将洗净槽内压力维持于负压之控制器。8.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中该洗净槽具有一向下形成凸状之底壁,此底壁并固定有超音波振动子。9.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中前述蒸馏器包含并有一水分除去装置,该水分除去装置可将随其内部压力之降低而吸入内部之外气冷却至冰点以下,而将含于外气中之水分固化。10.如申请专利范团第9项之洗净装置,其中该水分除去装置包含有一用以收容溶剂之密封装置,一用以将溶剂冷却至冰点以下之装置,以及一将欲吸入之空气通人溶剂内部之装置。11.如申请专利范围第1项之洗净装置,其中前述蒸馏器具有一除湿器,该除湿器可将随其内部压力之降低而吸入内部之外气予以除湿。12.如申请专利范围第11项之洗净装置,其中该除湿器系 |
