| 发明名称 | 用于真空镀膜的磁导向单元 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于真空镀膜的磁导向单元，包括大体呈几字形的磁铁挂件，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。本实用新型的磁导向单元把磁铁固定在磁铁挂件的外部，不会对工件车产生刮擦，减少了基片架与磁导向单元的摩擦，减少了粉尘，从而解决镀膜针孔的问题，并且结构简单，拆卸、安装方便。 | ||
| 申请公布号 | CN204111862U | 申请公布日期 | 2015.01.21 |
| 申请号 | CN201420580862.1 | 申请日期 | 2014.09.30 |
| 申请人 | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 | 发明人 | 马磊;李忠;刘成;褚凯 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人 | 王琪 |
| 主权项 | 用于真空镀膜的磁导向单元，其特征在于：包括大体呈几字形的磁铁挂件，所述磁铁挂件由整体的不锈钢一体成型，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。 | ||
| 地址 | 233010 安徽省蚌埠市东海大道6318号 | ||