内建电子倍增功能型之固体摄像元件

摘要

本发明之内建电子倍增功能型之固体摄像元件中，在倍增暂存器EM之垂直于电子传送方向的剖面内，绝缘层2两侧部之厚度大于区域之厚度，在N型半导体区域1C之区域与两侧部之交界，形成有一对溢流式汲极1N，各溢流式汲极1N系沿着倍增暂存器EM之电子传送方向延伸。溢流式闸极电极G系从绝缘层2之较薄部分以至较厚部分延伸，又，其系介存于各传送电极8(8A、8B)之长向之两端部与绝缘层2之间，且作为对各电极8(8A、8B)之屏蔽电极亦发挥功能。

主权项

一种内建电子倍增功能型之固体摄像元件，其特征在于具备：摄像区域；传送来自上述摄像区域之电子之水平移位暂存器；及倍增来自上述水平移位暂存器之电子之倍增暂存器；且上述倍增暂存器具备：半导体区域；形成于上述半导体区域上之绝缘层；毗连于上述绝缘层上而形成之复数个传送电极；及配置于上述传送电极间且被施加直流电位之DC电极；且在上述倍增暂存器之垂直于电子传送方向之剖面内，上述绝缘层两侧部之厚度大于中央区域之厚度，且在上述半导体区域之上述中央区域与上述两侧部之交界，形成有一对溢流式汲极；上述各溢流式汲极系沿着上述倍增暂存器之电子传送方向延伸。