PHOTORESIST DEVELOPING DEVICE,申请号JP19910041810-传众专利搜索

发明名称	PHOTORESIST DEVELOPING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04278235(A)	申请公布日期	1992.10.02
申请号	JP19910041810	申请日期	1991.03.07
申请人	SONY CORP	发明人	KASHIWAGI TOSHIYUKI;KUROKAWA KOTARO
分类号	G11B7/00;G03F7/30;G11B7/0045;G11B7/26	主分类号	G11B7/00
代理机构		代理人
主权项
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