具有行波电极结构的光电子器件及行波电极结构

摘要

本发明公开了一种具有行波电极结构的光电子器件，所述行波电极包括在光波导结构之上的行波电极和偏离光波导结构之上的行波电极两部分，从而使得器件的特征阻抗与标准阻抗之差小于预设值。本发明还公开了一种行波电极结构。利用本发明，使得器件特征阻抗与系统标准阻抗在较大的频率范围内相匹配，从而保证器件具有较好的高速性能。

主权项

一种包含行波电极结构的光电子器件，其特征在于，所述行波电极由光波导结构之上的行波电极和偏离光波导结构之上的行波电极组成，所述光波导结构之上的行波电极包括1个分段；所述光波导结构之上的1个行波电极分段连接一段所述偏离光波导结构之上的行波电极；通过调整所述光波导结构之上的一个行波电极分段的长度和/或所述偏离光波导结构之上的至少一个行波电极分段的长度，使得所述光电子器件的特征阻抗与标准阻抗之差小于预设值。