电力用半导体元件检查用探针集合体和使用有此之检查装置

摘要

〔课题〕以提供一种能够防止由于探针或半导体元件之通电所导致的温度上升并且能够进行正确之测定的电力用半导体元件检查用探针集合体和使用有此之检查装置一事，作为课题。;〔解决手段〕藉由提供下述一般之电力用半导体元件检查用探针集合体和具备有此之检查装置，来解决上述课题，该电力用半导体元件检查用探针集合体，其特征为，系具备有：探针块，系具备复数个的探针收容孔；和复数根之探针，系被收容在前述探针收容孔之各个中，并使外周与前述探针收容孔之内周相接触，并且，系使在检查时而与对象物作接触之下端部从前述探针块而突出；和1或2以上之冷却手段，系冷却前述探针块。

主权项

一种电力用半导体元件检查用探针集合体，其特征为，系具备有：探针块，系具备复数个的探针收容孔；和复数根之探针，系被收容在前述探针收容孔之各个中，并使外周与前述探针收容孔之内周相接触，并且，系使在检查时而与对象物作接触之下端部从前述探针块而突出；和1或2以上之冷却手段，系冷却前述探针块，前述探针块，系在探针块内以及/或者是探针块外具备有冷却室，前述冷却手段之其中一者，系为对于前述冷却室供给冷却媒体之冷却媒体供给装置，前述冷却室，系具备有朝向前述探针之前述下端部从前述探针块而突出的方向作开口之冷却媒体出口，前述冷却媒体，系为气体，前述探针块，系藉由金属所构成，前述冷却媒体出口，系朝向各探针之突出了的前端部所存在的方向而朝倾斜下方开口。