发明名称 感光性硷可溶聚矽氧树脂组合物
摘要 本发明系提供一种感光性硷可溶聚矽氧树脂组合物,其包含:于1分子内具有羧基或二羧酸酐基之硷可溶性聚矽氧树脂(A)、酸值为10~200 mgKOH/g之硷可溶性树脂(B)、以及光聚合起始剂(C),且该(A)成分或(B)成分具有光聚合性不饱和双键基,或者该感光性硷可溶聚矽氧树脂组合物进而包含具有光聚合性不饱和双键之化合物(D)。
申请公布号 TWI470352 申请公布日期 2015.01.21
申请号 TW101131922 申请日期 2012.08.31
申请人 旭化成电子材料股份有限公司 日本 发明人 斋藤大和;岩间珠莉;胜又彻;佐佐木由香;木村正志;松田治美
分类号 G03F7/028;G03F7/038;C08L83/04;H01L21/312 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种感光性硷可溶聚矽氧树脂组合物,其包含:于1分子内具有羧基或二羧酸酐基之硷可溶性聚矽氧树脂(A)、酸值为10mgKOH/g~200mgKOH/g之硷可溶性树脂(B)、以及光聚合起始剂(C),且该(A)成分或(B)成分具有光聚合性不饱和双键基,或者该感光性硷可溶聚矽氧树脂组合物进而包含具有光聚合性不饱和双键之化合物(D)。
地址 日本