薄膜太阳电池用之缺陷修复用工具，缺陷修复用装置及缺陷修复方法

摘要

本案之目的在于不使美观受损而修复薄膜太阳电池之局部缺陷。;本发明提供一种薄膜太阳电池之缺陷修复用工具，此缺陷修复用工具系为保持于被设置在加工装置头部部之卡盘并旋转，用以对产生于薄膜太阳电池之局部缺陷进行绝缘分离之工具，该工具系具有柄部35与刀缘部36。柄部35系形成于一端侧，并被保持于卡盘16。刀缘部36系形成于另一端侧，并于前端具有加工用之刀刃36a。并且，刀缘部36之刀刃36a系以预定之宽度形成于自旋转中心离开之位置。

主权项

一种薄膜太阳电池之缺陷修复用工具，系被保持于被设置在加工装置之头部之卡盘并旋转，用以对产生于薄膜太阳电池之局部缺陷进行绝缘分离者，该缺陷修复用工具系具备：柄部，系形成于一端侧，并被保持于上述卡盘；及刀缘部，系形成于另一端侧，并于前端具有接触于加工对象的薄膜之剥离加工用之刀刃，以及不接触于加工对象的薄膜之退避部；其中，前述刀刃系相对于旋转中心线呈现正交，且沿着半径方向以0.1mm以下之宽度形成于自旋转中心离开之位置；前述退避部系连续自前述刀刃，且以愈离开前述刀刃愈接近前述柄部侧之方式倾斜。