无结晶体管及其制造方法

摘要

一种无结（junctionless）晶体管及其制造方法，制造方法包括：提供基底，所述基底包括介质层、位于所述介质层上的第一半导体层；图形化所述第一半导体层，形成源极区域、漏极区域以及位于所述源极区域和漏极区域之间的鳍；去除位于所述鳍下方的部分介质层，使所述鳍悬空于剩余介质层上；使所述鳍的表面平滑化，形成纳米线；对所述纳米线进行沟道离子掺杂，使离子掺杂浓度从纳米线表面到纳米线中心逐渐递减；在掺杂后的纳米线上形成围栅结构；对所述源极区域、漏极区域进行与纳米线沟道离子掺杂同类型的源漏掺杂，以形成源极和漏极。本发明能优化无结晶体管的性能。

主权项

一种无结晶体管的制造方法，其特征在于，包括：提供基底，所述基底包括介质层、位于所述介质层上的第一半导体层；图形化所述第一半导体层，形成源极区域、漏极区域以及位于所述源极区域和漏极区域之间的鳍；去除位于所述鳍下方的部分介质层，使所述鳍悬空于剩余介质层上；使所述鳍的表面平滑化，形成纳米线；对所述纳米线进行沟道离子掺杂，使离子掺杂浓度从纳米线表面到纳米线中心逐渐递减；在掺杂后的纳米线上形成围栅结构；对所述源极区域、漏极区域进行与纳米线沟道离子掺杂同类型的源漏掺杂，以形成源极和漏极。