一种磁控溅射设备传送系统

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射设备传送系统，包括传送轴,传送轴上设有链式传送带，带有卡槽的传送托盘设置于链式传送带上，且由传送托盘侧壁的第一卡扣固定于链式传送带上。所述传送托盘内设有样品托盘，样品托盘包括设置于样品托盘两旁侧壁上的滑动扳手，滑动扳手可带动样品托盘在卡槽内做平行移动。卡槽内设有第二卡扣，用于阻止样品托盘在卡槽内进一步向后运动。链式传送带的上下方至少设置四个阴极靶材。上阴极靶材与下阴极靶材之间且平行于样品托盘上面扳手的位置设有倒三角弹性阻挡器。本实用新型结构简单，运行稳定，并且可操作性强，可随意控制台阶长短，适于工业生产。

主权项

一种磁控溅射设备传送系统，其特征在于：包括传送轴,传送轴上设有链式传送带，带有卡槽的传送托盘设置于链式传送带上，且由传送托盘侧壁的第一卡扣固定于链式传送带上；所述卡槽内设有样品托盘，样品托盘包括设置于样品托盘两旁侧壁上的可带动样品托盘在卡槽内做平行移动的滑动扳手，卡槽内设有用于阻止样品托盘在卡槽内进一步向后运动的第二卡扣；链式传送带的上方和下方分别设置至少两个阴极靶；卡槽出口处设有倒三角弹性阻挡器。