发明名称 |
一种等离子体刻蚀硅片夹具 |
摘要 |
本实用新型公开了一种等离子体刻蚀硅片夹具,包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位于上夹板与下夹板之间的垫片,所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔,上夹板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上,螺丝螺杆上端穿过上夹板并向外延伸,延伸部分与上夹板之间设有螺母;下端固定在下夹板的通孔内;在上夹板与下夹板上各设有一组对称的矩形长条,所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条相互对立。本实用新型可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀,同时压片在硅片其他位置不施加力,不会使硅片产生隐裂,既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。 |
申请公布号 |
CN204118100U |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
申请号 |
CN201420421292.1 |
申请日期 |
2014.07.29 |
申请人 |
无锡赛晶太阳能有限公司 |
发明人 |
蒋建宝 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
江苏圣典律师事务所 32237 |
代理人 |
贺翔 |
主权项 |
一种等离子体刻蚀硅片夹具,包括上夹板(1)、下夹板(2)、螺丝螺杆(3)以及位于上夹板(1)与下夹板(2)之间的垫片(4),所述上夹板(1)、下夹板(2)上设有与螺丝螺杆(3)相配合的通孔,上夹板(1)、下夹板(2)通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆(3)上,螺丝螺杆(3)上端穿过上夹板(1)并向外延伸,延伸部分与上夹板(1)之间设有螺母(5);下端固定在下夹板(2)的通孔内;其特征在于,在上夹板(1)与下夹板(2)上各设有一组对称的矩形长条(6),所述的上夹板(1)上的矩形长条(6)与下夹板(2)上的矩形长条(6)相互对立。 |
地址 |
214251 江苏省无锡市宜兴市官林镇工业集中区C区 |