发明名称 |
纳米器件及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供一种能够与二极管、隧道元件、MOS晶体管等电子元件组合的纳米器件及其集成电路、以及纳米器件的制作方法。纳米器件包括:第一绝缘层(2);以具有纳米间隙的方式设置于第一绝缘层(2)上的一方的电极(5A)与另一方的电极(5B);配置于一方电极(5A)与另一方的电极(5B)之间的金属纳米粒子(7)或者功能分子;以及设置在第一绝缘层(2)、一方的电极(5A)以及另一方的电极(5B)上,并且将金属纳米粒子(7)、功能分子中的任一种埋设的第二绝缘层(8)。第二绝缘层(8)作为钝化层起作用。 |
申请公布号 |
CN104303313A |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
申请号 |
CN201380011440.0 |
申请日期 |
2013.02.27 |
申请人 |
独立行政法人科学技术振兴机构 |
发明人 |
真岛丰;寺西利治;松本和彦;前桥兼三;东康男;大野恭秀;前田幸祐;葛姆胡博特福德瑞克·哈格呗鲁杰 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/8234(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/66(2006.01)I;H01L51/05(2006.01)I;H01L51/30(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
梁海莲;余明伟 |
主权项 |
一种纳米器件,其特征在于,包括:第一绝缘层;一方的电极以及另一方的电极,其以具有纳米间隙的方式设置在所述第一绝缘层上;金属纳米粒子,其配置于所述一方的电极以及所述另一方的电极之间;以及第二绝缘层,其设置于所述第一绝缘层、所述一方的电极以及所述另一方的电极上,并埋设有所述金属纳米粒子。 |
地址 |
日本琦玉县川口市本町4-1-8 |