发明名称 掩膜板组件
摘要 本发明公开了一种掩膜板组件,该掩膜板组件包括框架和至少两个掩膜板,其中框架包括外框体和设置在外框体内部的至少一条支撑筋,其中外框体定义一呈矩形设置的主开口区域,支撑筋进一步将主开口区域划分为至少两个呈矩形的子开口区域,每一掩膜板对应于一子开口区域,且掩膜板的四周边缘分别固定于其所对应的子开口区域对应的外框体和支撑筋上。通过上述方式,本发明能够在合理利用框架内空间的前提下使得子开口区域适用大尺寸的掩膜板,可节约成本。
申请公布号 CN104294212A 申请公布日期 2015.01.21
申请号 CN201410446337.5 申请日期 2014.09.03
申请人 安徽省大富光电科技有限公司 发明人 孙尚传
分类号 C23C14/04(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人 何青瓦
主权项 一种掩膜板组件,其特征在于,所述掩膜板组件包括框架和至少两个掩膜板,其中所述框架包括外框体和设置在所述外框体内部的至少一条支撑筋,其中所述外框体定义一呈矩形设置的主开口区域,所述支撑筋进一步将所述主开口区域划分为至少两个呈矩形的子开口区域,每一所述掩膜板对应于一所述子开口区域,且所述掩膜板的四周边缘分别固定于其所对应的所述子开口区域对应的所述外框体和所述支撑筋上。
地址 233000 安徽省蚌埠市高新区东海大道6525号