| 发明名称 |
气体供应装置用流量控制器之流量测量装置及流量测量方法 |
| 摘要 |
本发明之课题在于能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器之流量测量，并且谋求用于测量的流量测量装置之构造的简化及小型化。;其解决手段在于包含：分支管路(Lb)，系将其入口侧端部以分支状且分离自如的方式连结至设置于气体供应管路(L)之出口端部的开闭阀(V0)之上游部，并且将其出口侧端部连结至气体流出侧；及开闭阀(V)，系设置于分支管路(Lb)之出口侧；及压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，系检测开闭阀(V)之上游侧的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，系输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)之检测讯号，且运算流通于分支管路(Lb)之气体流量，藉此将流量测量装置以分支状且分离自如的方式连结至气体供应装置(GF)之设置于气体供应管路(L)之出口端部的开闭阀(V0)之上游部。 |
| 申请公布号 |
TWI470187 |
申请公布日期 |
2015.01.21 |
| 申请号 |
TW100145975 |
申请日期 |
2011.12.13 |
| 申请人 |
富士金股份有限公司 日本 |
发明人 |
泽田洋平;永濑正明;池田信一;西野功二;土肥亮介 |
| 分类号 |
G01F1/00;G01F15/02;G01F25/00;G05D16/20 |
主分类号 |
G01F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
| 主权项 |
一种气体供应装置用流量控制器之流量测量装置，系设置于气体供应装置之可切换的复数个流量控制器的流量测量装置，其特征为，包含：分支管路(Lb)，系将其入口侧端部以分支状且分离自如的方式连结至设置于气体供应管路(L)之出口端部的开闭阀(V0)之上游部，并且将其出口侧端部连接至气体使用部位的气体流出侧；及开闭阀(V)，系设置于分支管路(Lb)之出口侧；及压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，系检测流动至开闭阀(V)之气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，系输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)之检测讯号，并使用压力检测值、温度检测值、分支管路及气体供应路的合计内容积、测量时间来运算流通于分支管路(Lb)之气体流量Q，藉此将流量测量装置以分支状且分离自如的方式连结至气体供应装置(GF)之设置于气体供应管路(L)之出口端部的开闭阀(V0)之上游部。 |
| 地址 |
日本 |
