基板保持具、基板搬运装置以及基板处理系统

摘要

即使于具有用以支持基板之支持构件的基板保持具与系统构成构件接触之时，亦可以极力回避支持构件之损伤。;其解决手段为属于基板保持具之叉架(Fork)(101)具备有固定于滑动件(127)之捡取器基座(117)，和当作被连结于该捡取器基座(117)之支持构件的例如4根支持捡取器(119)。支持捡取器(119)具有构成中空之角筒状的本体(131)，和装卸自如地被安装于本体(131)之前端的当作保护构件之盖部(133)。

主权项

一种基板保持具，具备有基部，和互相隔着间隔连结于上述基部之多数支持构件，在该些多数支持构件上保持基板，其特征为：上述支持构件具备有本体和保护该本体之前端的可装卸之保护构件，在上述本体之上面，具有从下方抵接于基板之可装卸的第1突起部，在上述保护构件之上部，具有从下方抵接于基板的第2突起部。