| 摘要 |
<p>エンコーダヘッドは、ｉ）第一の入射ビームを、エンコーダスケールに対して第一の入射角で回折エンコーダスケールへと向かわせ、ｉｉ）エンコーダスケールから第一の回帰ビームを第一の回帰角で受け取り、第一の回帰角が第一の入射角とは異なり、ｉｉｉ）第一の回帰ビームを第二の入射ビームとして、第二の入射角でエンコーダスケールに向かうように方向転換させ、ｉｖ）エンコーダスケールから戻る第二の回帰ビームを第二の回帰角で受け取り、第二の回帰角が第二の入射角とは異なるように配置された１つまたは複数の部品を含み、第一の入射角と第二の入射角の差が、第一の入射角と第一の回帰角の差より小さく、第二の入射角と第二の回帰角の差より小さい。</p> |
