| 摘要 |
エンコーダスケールの位置変化に関する情報を判定する方法は、第１の干渉空洞において、低コヒーレンスビームを第１の干渉空洞の第１の経路に沿って伝播する第１のビームと第１の干渉空洞の第２の経路に沿って伝播する第２のビームとに分離すること、第１のビームと第２のビームとを結合して第１の出力ビームを形成すること、第２の干渉空洞において、第１の出力ビームを第２の干渉空洞の測定経路に沿って伝播する測定ビームと第２の干渉空洞の基準経路に沿って伝播する基準ビームとに分離すること、測定ビームと基準ビームとを結合して第２の出力ビームを形成すること、第２の出力ビームに基づき干渉信号を検出すること、及び干渉信号からの位相情報に基づきエンコーダスケールの位置変化に関する情報を判定することを含む。 |
