質量分光計の真空インターフェース方法および真空インターフェース装置

摘要

スキマー開口部と、スキマー装置の内部表面（１６２）を有するスキマー装置（１６０）を備える質量分光計の真空インターフェースを準備し、または動作させる方法であって、内部表面上に吸着性材料またはゲッタ材料（１７０）を配置することを含む方法を提供する。内部表面は、プラズマ流からの物質が堆積し得る堆積領域を有しており、材料は堆積領域の一部あるいは全部に配置される。この配置ステップは、最初の使用の前および／または、特に従前に配置された材料をリフレッシュするために断続的に行なわれてもよい。このような材料の設置は、堆積物をトラップまたは収集する機能を果たすので、堆積物はとにかく堆積するかもしれないが、後続して堆積物が遊離することを防止するか、または少なくとも低減する。その時点までに堆積した物質を覆う、あるいは「埋める」機能も果たすので、堆積した物質が後続してプラズマ流中へ遊離することを効果的に防ぐか、あるいは大幅に妨げる。先に設けられた材料をリフレッシュする機能を果たすので、材料の吸着性／トラップ効果の維持に役立てることができる。