アモルファス・シリコン・ビームを伴う一体型半導体デバイスの製造方法、構造、および設計構造

摘要

【課題】 ＣＭＯＳプロセスと一体化されたバルク音響波フィルタあるいはバルク音響共振器またはその両方、その製造方法、および設計構造を提供する。【解決手段】 本発明は、以下の工程及び構造を備える。アモルファス・シリコン（Ｓｉ）材料（２９）を含む少なくとも１つのビーム（４４）を形成し、アモルファスＳｉビームを覆い、これに近接する絶縁体材料（３２）を提供し、絶縁体材料を介してバイア（５０）を形成すること、アモルファスＳｉビームの下にある材料（２５）を露出させ、バイア内およびアモルファスＳｉビームを覆って、犠牲材料（３６）を提供し、犠牲材料上および絶縁体材料を覆って、蓋（３８）を提供し、さらにアモルファスＳｉビームの上に上部キャビティ（４２ａ）を、アモルファスＳｉビームの下に下部キャビティ（４２ｂ）を、それぞれ形成するために、蓋（放出ホール４０）を介して、犠牲材料および下側の材料を放出すること。【選択図】 図１１