| 摘要 |
于接受电浆的辅助同时藉由蒸镀进行成膜的成膜装置，横跨长时间安定地进行蒸镀。本发明之成膜装置(1)，特征在于在减压下把膜基材(W)以卷对卷的方式搬送，同时使蒸镀材料(M)往膜基材(W)蒸镀之成膜装置(1)，特征为具有：内部被减压的真空室(2)，被配置于真空室(2)内同时使膜基材卷挂于外周面而导引真空室(2)内的一对辊(3、3)，使蒸镀材料(M)蒸发的蒸发装置(4)，对一对辊(3、3)间施加交流电压的电浆产生电源(5)，以及把气体导入真空室(2)内的部材(6)；一对辊(3、3)，在保持膜基材(W)的表面产生电浆，蒸发装置(4)，使蒸镀材料(M)蒸发同时于膜基材(W)的表面以皮膜的方式进行蒸镀。 |
