沉积设备、使用其制造有机发光显示设备之方法以及使用该方法所制造之有机发光显示设备;DEPOSITION APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY APPARATUS BY USING THE SAME, AND ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY APPARATUS MANUFACTURED USING THE METHOD

摘要

一种可以即时检测形成之薄层厚度或一致性之沉积设备。沉积设备包含基板可拆卸的固定于其上之移动单元。输送单元在第一方向或相反于第一方向之方向上输送移动单元。沉积单元包含用于沉积沉积材料于基板上之至少一沉积组件。释出资料取得单元取得关于每单位时间从至少一沉积组件所释出之沉积材料之量之资料。传送单元传送由释出资料取得单元所取得之资料。