| 发明名称 |
INTERCHAMBER ADAPTER FOR CLUSTER TOOL |
| 摘要 |
직렬 클러스터 툴 시스템이 제공된다. 상기 시스템은 복수의 제1 프로세싱 챔버들과 적어도 하나의 제1 주변 챔버를 가진 제1 클러스터 툴과, 복수의 제2 프로세싱 챔버들과 적어도 하나의 제2 주변 챔버를 가진 제2 클러스터 툴과, 상기 적어도 하나의 제1 주변 챔버를 상기 적어도 하나의 제2 주변 챔버에 커플링하며, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 밀봉면들 사이에 커플링되는 진공 밀폐 가요성 섹션을 포함한 챔버간 어댑터 기구를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20150000231(U) |
申请公布日期 |
2015.01.16 |
| 申请号 |
KR20147000051U |
申请日期 |
2012.04.10 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
쿠리타, 신이치;이나가와, 마코토;코, 제프리 에이.;티너, 로빈 엘.;앤워, 수하일 |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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