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发明名称
具有刀片套的切削装置
摘要
本发明的课题为提供一种可降低被加工物上有切削屑附着之疑虑的切削装置。解决手段为在具有切削刀之转轴单元上装设于底部具有供切削刀的前端突出之开口的刀片套,并以该刀片套包覆切削刀。以切削液供给机构在开口外周侧将切削液供应至被加工物的上表面,同时用吸引源吸引自形成于刀片套之排出口到刀片套内之收容部的空气。随着切削刀的旋转,可透过开口将切削液吸进刀片套内的收容部中,并透过排出口将该切削液排出到刀片套外,以抑制切削液之飞溅。
申请公布号
TW201503247
申请公布日期
2015.01.16
申请号
TW103108733
申请日期
2014.03.12
申请人
迪思科股份有限公司
发明人
卡德 麦可
分类号
H01L21/301(2006.01)
主分类号
H01L21/301(2006.01)
代理机构
代理人
恽轶群陈文郎
主权项
地址
日本
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