| 摘要 |
本发明的课题是提供一种具有可确认是否追踪保持在夹头台上的被加工物的上表面高度位置资讯而将聚光点位置调整机构作动之机能的雷射加工装置。解决手段为一种雷射加工装置，并包含，设有聚集雷射光线以照射保持在夹头台上的被加工物的聚光物镜的雷射光线照射机构、检测保持在夹头台上的被加工物的上表面高度位置的高度位置检测机构、相对于夹头台的保持面使该聚光物镜在垂直的Z轴方向上移动的聚光点位置调整机构、在X轴方向上加工传送夹头台的加工传送机构、用于检测夹头台的X轴方向位置的X轴方向位置检测机构，及控制机构。控制机构具有一边作动加工传送机构以在X轴方向上移动保持在夹头台上的被加工物，一边作动高度位置检测机构以将量测被加工物的高度位置而得到的高度量测值和依照该X轴方向位置检测机构所传出之检测信号的X座标储存起来的记忆机构，并一边作动加工传动机构以在X轴方向上移动保持在夹头上的被加工物一边依照记忆机构所储存之对应X座标的高度量测值控制聚光点位置调整机构，同时将高度位置检测机构检测到的高度资讯和X座标相对应以显示在显示机构上。 |
