| 摘要 |
本发明的目的在于提供一种安装防尘薄膜组件后的光罩的变形小，而且防尘薄膜组件的装卸容易，且可靠性高的防尘薄膜组件以及安装防尘薄膜组件的光罩。本发明的防尘薄膜组件40为使用具有至少4个边的防尘薄膜组件框架10构成，在防尘薄膜组件框架10的至少4处的角部上，设置有从光罩70侧端面到设置有防尘薄膜42的端面的阴螺杆11，另外，在防尘薄膜组件40的光罩70侧的端面上设置有弹性体层43。然后，在防尘薄膜组件40藉由连接部件101安装在光罩70上的情况下，此弹性体层43以与光罩70表面的接触宽为0.3mm~1.0mm的范围的方式被压扁，由此防尘薄膜组件40和光罩70之间的密封性良好。 |
