| 发明名称 |
消隐装置，绘图装置，及制造物品的方法;BLANKING APPARATUS, DRAWING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE |
| 摘要 |
本案提供一种消隐装置，该消隐装置包括：多个消隐器，被配置成相对于物体上的目标位置分别使多个射束消隐；和驱动设备，被配置成驱动多个消隐器，其中，驱动设备包括改变设备，该改变设备被配置成改变多个射束中的射束的组合和目标剂量之间的关系。 |
| 申请公布号 |
TW201503231 |
申请公布日期 |
2015.01.16 |
| 申请号 |
TW103119549 |
申请日期 |
2014.06.05 |
| 申请人 |
佳能股份有限公司 |
发明人 |
森田知之;村木真人 |
| 分类号 |
H01L21/027(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01J37/30(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
