度量衡系统校准之精细化;METROLOGY SYSTEM CALIBRATION REFINEMENT

摘要

本发明呈现用于跨越一或多个光学度量衡系统匹配量测光谱之方法及系统。将用于判定一试样对由一目标度量衡系统执行之一量测之光谱回应之一或多个系统参数的值最佳化。该等系统参数值经最佳化，使得由一参考系统及该目标系统产生之量测光谱之间的差针对相同度量衡目标的量测最小化。本发明亦呈现用于跨越一或多个光学度量衡系统匹配光谱误差之方法及系统。一受信任度量衡系统量测至少一个试样参数之值，以使由在该等参考及目标度量衡系统进行之量测时间处存在之不同量测条件所引起的模型误差最小化。呈现用于基于低阶回应表面之参数最佳化的方法及系统，以减少精细化系统校准参数所需的计算时间。