| 发明名称 |
用于基板提升设备的力传感系统;FORCE SENSING SYSTEM FOR SUBSTRATE LIFTING APPARATUS |
| 摘要 |
一种监测基板提升设备上的力的系统及方法。系统包括具有台及可动提升部分的台匣。可动提升部分包括耦合至多个提升梢的多个提升臂。多个力传感元件分别关联于这些提升臂及这些提升梢。控制器接收来自这些力传感元件的讯号，将这些讯号联系至分别施加于这些提升梢的力。被联系的力可指示错误状况的存在至控制器，例如被卡住的晶圆、损坏的晶圆、错置的晶圆或机械故障。 |
| 申请公布号 |
TW201501891 |
申请公布日期 |
2015.01.16 |
| 申请号 |
TW103114769 |
申请日期 |
2014.04.24 |
| 申请人 |
瓦里安半导体设备公司 |
发明人 |
起首恩 理查Ｖ;派滋许 史考特Ｅ;埃斯波西托 麦可;波特崔斯 罗伯特Ａ;恩尔拉 史蒂芬Ｍ;哈 丹尼尔Ａ;后登 史考特Ｃ;费许 罗杰Ｂ |
| 分类号 |
B25J19/02(2006.01);B25J9/16(2006.01);H01L21/677(2006.01) |
主分类号 |
B25J19/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗郑婷文詹富闵 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
