超音波清洗装置及清洗方法

摘要

本发明关于一种清洗方法，是使用在底面具有倾斜之清洗槽来进行被清洗物的超音波清洗的清洗方法，其特征在于：使用复数个前述清洗槽，并使该复数个清洗槽的底面的倾斜方向在每个相邻的清洗槽改变，来清洗前述被清洗物。藉此，可解决在藉由超音波清洗所实行的晶圆清洗中的晶圆清洗不均。