发明名称 清洁玻璃基板之方法;METHOD OF CLEANING GLASS SUBSTRATES
摘要 本发明揭示一种清洁薄玻璃基板之方法,该方法包含:当在传送方向上传送薄玻璃基板时,应用一系列化学清洗步骤。此外,玻璃基板之表面可经处理以增强玻璃基板之静电放电特性。
申请公布号 TW201501821 申请公布日期 2015.01.16
申请号 TW103115199 申请日期 2014.04.28
申请人 康宁公司 发明人 艾尼克达温吉恩;中村嘉宏;泛卡塔加兰希发;华柴克汪妲贾妮娜;王力明
分类号 B08B3/08(2006.01) 主分类号 B08B3/08(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财李世章
主权项
地址 美国