用于投影微影的照明光学单元;ILLUMINATION OPTICAL UNIT FOR PROJECTION LITHOGRAPHY

摘要

本发明揭示一种用于投影微影的照明光学单元(4)，其适于使用照明光(16)照明物体场(5)，在该物体场中可配置要成像的物体(7)。照明光学单元(4)包含具有复数个场琢面(20)的场琢面镜(19)。此外，照明光学单元(4)包含具有复数个光瞳琢面的光瞳琢面镜(25)。利用转移光学单元(21、25、39)将场琢面(20)成像在物体场(5)中。至少一个光瞳琢面镜(25)具有至少一个光瞳琢面镜极化区段(29、30)及至少一个光瞳琢面镜中性区段(34)。极化区段(29、30)系配置成照明光以大约布鲁斯特角反射。中性区段(34)系配置成照明光(16)以大约法线入射反射。所形成的是一种照明光学单元，其中要成像之物体的照明可以灵活的方式设计并可针对预定值加以调适。