| 发明名称 |
系统及方法;SYSTEMS AND METHODS |
| 摘要 |
本发明揭示离子源、系统及方法。 |
| 申请公布号 |
TW201503223 |
申请公布日期 |
2015.01.16 |
| 申请号 |
TW103131105 |
申请日期 |
2006.11.15 |
| 申请人 |
卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
发明人 |
沃德 比利Ｗ;诺提四世 约翰Ａ;法卡斯三世 路易士Ｓ;柏西佛 蓝道尔Ｇ;希尔 雷蒙;葛罗霍斯基 亚历山大;柯姆奈尔 理查;麦维 萧恩;毕尔 乔汉斯 |
| 分类号 |
H01J9/02(2006.01);G01N23/225(2006.01);H01J27/26(2006.01);H01J37/08(2006.01) |
主分类号 |
H01J9/02(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
洪澄文 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
美国 |
