发明名称 包含多层镀膜的光学元件及包含此光学元件的光学配置;OPTICAL ELEMENT COMPRISING A MULTILAYER COATING, AND OPTICAL ARRANGEMENT COMPRISING SAME
摘要 本发明揭示一种光学元件(50),其包含:一基板(52);及一施加于该基板(52)的多层镀膜(51),其包含:至少一第一层系统(53),其由相等建构之堆叠(X1至X4)的配置组成,各堆叠具有至少两层(53a-d);及至少一第二层系统(54),其由相等建构之堆叠(Y1、Y2)的配置组成,各堆叠具有至少两层(54a、54b),其中在该多层镀膜(51)的热负载后,该第一层系统(53)经历该等堆叠(X1至X4)之厚度(dX)的不可逆收缩,及该第二层系统(54)经历该等堆叠(Y1、Y2)之厚度(dY)的不可逆膨胀。本发明亦揭示一种包含至少一个此光学元件(50)的光学配置,尤其是微影设备。
申请公布号 TW201502061 申请公布日期 2015.01.16
申请号 TW103114816 申请日期 2014.04.24
申请人 卡尔蔡司SMT有限公司 发明人 范德库斯 罗伯W E;恩雅毕洛 史蒂芬;雅克辛 安德烈E;毕可克 佛德列克
分类号 B82Y40/00(2011.01);G02B5/08(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 B82Y40/00(2011.01)
代理机构 代理人 李宗德
主权项
地址 德国