发明名称 |
包含多层镀膜的光学元件及包含此光学元件的光学配置;OPTICAL ELEMENT COMPRISING A MULTILAYER COATING, AND OPTICAL ARRANGEMENT COMPRISING SAME |
摘要 |
本发明揭示一种光学元件(50),其包含:一基板(52);及一施加于该基板(52)的多层镀膜(51),其包含:至少一第一层系统(53),其由相等建构之堆叠(X1至X4)的配置组成,各堆叠具有至少两层(53a-d);及至少一第二层系统(54),其由相等建构之堆叠(Y1、Y2)的配置组成,各堆叠具有至少两层(54a、54b),其中在该多层镀膜(51)的热负载后,该第一层系统(53)经历该等堆叠(X1至X4)之厚度(dX)的不可逆收缩,及该第二层系统(54)经历该等堆叠(Y1、Y2)之厚度(dY)的不可逆膨胀。本发明亦揭示一种包含至少一个此光学元件(50)的光学配置,尤其是微影设备。 |
申请公布号 |
TW201502061 |
申请公布日期 |
2015.01.16 |
申请号 |
TW103114816 |
申请日期 |
2014.04.24 |
申请人 |
卡尔蔡司SMT有限公司 |
发明人 |
范德库斯 罗伯W E;恩雅毕洛 史蒂芬;雅克辛 安德烈E;毕可克 佛德列克 |
分类号 |
B82Y40/00(2011.01);G02B5/08(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
B82Y40/00(2011.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
李宗德 |
主权项 |
|
地址 |
德国 |