| 摘要 |
本发明的课题为提供一种不使机器人大型化，即使对位在较远位置的基板载放部仍可进行存取的基板搬运机器人。其解决手段为该基板搬运机器人(13)具备：手部(131)；移动手部(131)用的臂(132)；及控制手部(131)移动的控制部(133)。控制部(133)在平面方向显示，基板保持中心(138)在匣(30)的附近，并且，在位于从匣(30)隔着预定间隔的存取开始位置(141)的状态，控制手部(131)的位置及方向，控制使得手中心线(139)构成为相对于存取直线(304)倾斜的同时，手中心线(139)在与存取直线(304)一致的状态，基板保持中心(138)到达匣(30)内的基板载放位置(142)。 |
