绘画装置和物品的制造方法;DRAWING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE

摘要

本发明系有关一种绘画装置和制造物品的方法。所述绘画装置用以利用带电粒子束而在基板上实施绘画，包括：控制器，被配置成基于所述带电粒子束在所述基板上的多个位置中的每一个相对于与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置的位移的资讯、以及与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置处的所述带电粒子束的目标剂量，以控制所述多个位置中的每一个处的所述带电粒子束的剂量。