| 摘要 |
本发明，是有关藉由将遮罩上的图型由微透镜阵列在基板上成像将基板曝光的曝光装置等，将射出曝光光的照明单元小型化。微透镜阵列(30)，是具有包含朝与移动方向A交叉方向的配列且被2次元配置的复数微透镜(31)，照明单元，是具有：复数雷射二极管被配列的LD阵列条；及照明光学系，是将从构成该LD阵列条的复数雷射二极管射出的复数发光光，转换成：对于在移动方向A交叉方向横跨在其方向并列的微透镜(31)的复数个地扩大，并且对于移动方向A是不及于与其移动方向相邻接的列并列的微透镜(31)的广度地被限制的狭缝形状的曝光光束，由该曝光光束所产生的曝光光(170)在呈一列地并列的复数微透镜(31)上照明。 |
