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发明名称
電力パルスシーケンスを提供する方法
摘要
本発明は、PVD吹き付けカソード用の電力パルスを提供する方法に関する。PVD吹き付けカソードは、電力消費素子と部分カソードとを有し、発電機の電力立ち上げ間隔の間は、電力消費素子への電力が引き下げられ、続いて、部分カソードへの電力が引き下げられ、電力を提供する発電機からの電力消費引き出しが中断されないように、切り換えが行われる。
申请公布号
JP2015501383(A)
申请公布日期
2015.01.15
申请号
JP20140537511
申请日期
2012.10.08
申请人
发明人
分类号
C23C14/54;C23C14/35;H05H1/24
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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