| 主权项 |
1.一种彩色滤光片,该滤光片系于一透明的基板,镀上两种以上不同的非晶矽材料薄膜,而该非晶矽材料,系选自a-SiOx、a-SiCx等材料,其中至少任二者。2.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,其中所选用的该非晶矽材料,系为a-SiOx、a-SiNx者。3.如申请专利范围第2项所述之彩色滤光片,其中所选用的该非晶矽材料,a-SiOx、a-SiNx所形成的薄膜,系为交错排列者。4.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,其中所使用的基板,系为玻璃者。5.如申请专利范围第1项所述之彩色滤光片,其中所使用的基板,系为透明塑胶。6.一种应用于可见光范围内的滤光片,该滤光片系于一透明的基板,镀上三层以上,选自a-SiOx、a-SiNx、a-SiCx等非晶系统材料中,其中至少任二者的薄膜。7.如申请专利范围第6项所述之彩色滤光片,其中所选用的非晶矽材料,系为a-SiOx、a-SiNx者。8.如申请专利范围第7项所述之彩色滤光片,其中所选用的该非晶矽材料,a-SiOx、a-SiNx所形成的薄膜,系为交错排列者。9.如申请专利范围第6项所述之彩色滤光片,其中所使用的基板,系为玻璃者。10.如申请专利范围第6项所述之彩色滤光片,其中所使用的基板,系为透明塑胶者。11.如申请专利范围第6项所述之彩色滤光片,其中该基板上的第一层薄膜,系为a-SiOx者。12.如申请专利范围第6项所述之彩色滤光片,其中,所选用非晶矽材料,系为a-SiOx以及a-SiNx者;且,在该基板上,a-SiOx以及a-SiNx为交错排列,共镀有四十六层薄膜。13.如申请专利范围第12项所述之彩色滤光片,其中,镀于该基板上的第一层薄膜,系为a-SiOx者。14.一种彩色滤光片,该滤光片,包括以二透明的固态材质结合为一的基板,在该基板两侧,分别设有多层膜A,以及多层膜B,而该多层模A及该多层膜B,系为三层以上,选自a-SiOx、a-SiNx、a-SiCx等非晶矽材料中,其中任二者的薄膜。15.如申请专利范围第14项所述之彩色滤光片,其中所选用的该非晶矽材料,系为a-SiOx、a-SiNx者。16.如申请专利范围第15项所述之彩色滤光片,其中所选用的该非晶矽材料,a-SiOx、a-SiNx所形成的薄膜,系为交错排列者。17.如申请专利范围第14项所述之彩色滤光片,其中所使用的透明固态材质,系为玻璃者。18.如申请专利范围第17项所述之彩色滤光片,其中两块玻璃之间,系以可见光学黏着剂黏合者。19.如申请专利范围第14.15.16.17或18项所述之彩色滤光片,其中所述的彩色滤光片,系为红色滤光片;该多层膜A,系设有十七层;该多层膜B,系设为二十一层。20.如申请专利范围第19项所述之红色滤光片,其中该多层膜A及多层膜B的第一层,系为a-SiNx,第二层系为a-SiOx。21.如申请专利范围第19项所述之红色滤光片,其中该多层膜A使用的a-SiOx,折射率约为1.47;而使所用的a-SiOx折射率约为2.2;而多层膜B所使用的a-SiNx,其折射率约为1.47;而所使用的a-SiNx,折射率约为2.14;所使用的基板,折射率为1.52。22.如申请专利范围第14.15.16.17或18项所述之彩色滤光片,其中所述的彩色滤光片,系为绿色滤光片;该多层膜A,系设有二十三层;该多层膜B,系设为二十一层。23.如申请专利范围第22项所述之绿色滤光片,其中该多层膜A的第一层,系为a-SiNx,第二层系为a-SiOx;而多层膜B的第一层,系为a-SiOx,第二层系为a-SiNx。24.如申请专利范围第22项所述之绿色滤光片,其中该多层膜A及多层膜B所使用的a-SiNx,其折射率约为1.927;而所使用的a-SiOx,折射率约为1.47;所使用的基板,折射率为1.52。25.如申请专利范围第14.15.16.17.或18项所述之绿色滤光片,其中所述的彩色滤光片,系为蓝色滤光片;该多层膜A,系设有十七层;该多层膜B,系设为十七层。26.如申请专利范围第25项所述之蓝色滤光片,其中该多层膜A及多层膜B的第一层,系为a-SiOx,,第二层系为a-SiNx。27.如申请专利范围第25项所述之蓝色滤光片,其中该多层膜A及多层膜B所使用的a-SiOx,其折射率约为1.47;而所使用的a-SiNx,折射率约为1.927;所使用的基板,折射率为1.52。28.一种制造彩色滤光片的方法,系在透明的基板,以PEVD法,镀上两种以上不同的非晶矽材料薄膜,而该非晶矽材料,系选自a-SiOx、a-SiNx、a-SiCx等材料,其中至少任二者。29.如申请专利范围第28项所述之制造彩色滤光片的方法,其中镀上a-SiOx层时,系使用SiHC_4C及NC_2CO气体;而镀a-SiNx层时,系使用SiHC_4C及NC_2C。30.如申请专利范围第29项所述之制造彩色滤光片的方法,其中镀上a-SiNx层时,更加入了NHC_3C。31.一种制造如申请专利范围第1.6或14项所述彩色滤光片之方法,该方法使用PECVD法,在基板上镀上多层膜。第一图为由表一实验结果改变组成比例得出的频谱图第二图为表二各实验结果的频谱图第三图为表三各实验结果的频谱图第四图为本发明红色滤光片实施例中,两多层膜个别的频谱显示图第五图为本发明较佳实施例的结构示意图第六图为红色滤光片实施例中,两多层膜结合的电脑模拟与实际成品的频谱显示图第七图为本发明绿色滤光片实施例中,两多层膜个别的频谱显示图第八图为绿色滤光片实施例中,两多层膜结合的电脑模拟与实际成品的频谱显示图第九图本发明蓝色滤光片实施例中,两多层膜个别的频谱显示图第十图为蓝色滤光片实施例中,两多层膜结合的电脑模拟与实际成品的频显示图第十一图为本发明绿色 |
