| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine MEMS-Mikrophonanordnung (1), die umfasst: ein MEMS-Wandlerelement (2), das eine Gegenelektrodenplatte (17) und eine Membran (18), die in Bezug auf die Gegenelektrodenplatte (17) verlagerbar ist, enthält; einen Vorspannungsgenerator (6), der dafür ausgelegt ist, eine Vorgleichspannung bereitzustellen, die zwischen die Membran (18) und die Gegenelektrodenplatte (17) angelegt werden kann; einen Verstärker (7) zum Empfangen eines elektrischen Signals von dem MEMS-Wandlerelement (2) und zum Bereitstellen eines Ausgangssignals, wobei der Verstärker (7) dafür ausgelegt ist, das elektrische Signal von dem MEMS-Wandlerelement (2) in Übereinstimmung mit einer Verstärker-Verstärkungsfaktoreinstellung zu verstärken; und einen Prozessor (8), der dafür ausgelegt ist, beim Einschalten der Mikrophonanordnung (1) eine Kalibrierungsroutine, die Informationen bezüglich der Vorgleichspannung und/oder der Verstärker-Verstärkungsfaktoreinstellung bestimmt, auszuführen. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Betreiben der MEMS-Mikrophonanordnung. |
