发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur spektrometrischen Reflexionsmessung bei sphärischen Flächen
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur spektrometrischen Reflexionsmessung an einer sphärischen Fläche (2) eines optischen Bauteils (1), wobei zur Reflexionsmessung ein an der sphärischen Fläche (2) des optischen Bauteils reflektierter Messstrahl (4) verwendet wird, wobei ein senkrecht auf die sphärische Fläche (2) einfallender Messstrahlengang (14) mittels einer Fokussieroptik (11) auf die sphärische Fläche (2) fokussiert wird, wobei anschließend zur Reflexionsmessung an einem beliebigen Punkt der sphärischen Fläche (2) das optische Bauteil (1) um zwei zueinander senkrechte und durch den Krümmungsmittelpunkt der sphärischen Fläche verlaufende Drehachsen (5, 6) bewegt wird, wobei während der Bewegung des Bauteils (1) der Fokus des Messstrahlengangs (14) unverändert auf der sphärischen Fläche (2) des Bauteils (1) verbleibt.</p>
申请公布号 DE102013213599(A1) 申请公布日期 2015.01.15
申请号 DE201310213599 申请日期 2013.07.11
申请人 LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH 发明人 EISENKRÄMER, FRANK;HEUCK, HANS-MARTIN
分类号 G01N21/55 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
主权项
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