发明名称 SCHRAUBVERBINDUNG FÜR VAKUUMANWENDUNGEN
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schraubverbindung, für Vakuumanwendungen mit einer Schraube (6) mit Außengewinde (10) und einem Bauteil (1) mit einem innen liegenden Muttergewinde, wobei entweder das Bauteil oder die Schraube oder beide aus einem nichtrostenden austenitischen Stahl gebildet sind, wobei durch Anordnung eines Einsatzes zwischen Bauteil und Schraube und/oder zumindest teilweise Beschichtung von Bauteil und/oder Schraube mit zu den Grundwerkstoffen unterschiedlichen Beschichtungsstoffen und/oder Modifikation der Härte der Oberflächen von Bauteil und/oder Schraube unterschiedliche Kontaktflächenpaare geschaffen werden, die ein gegenseitiges Gleiten ohne vakuumschädliche Schmierstoffe ermöglichen sowie eine Schraubverbindung für Vakuumanwendungen mit einer Schraube (6) mit Außengewinde (10) und einem Bauteil (1) mit einem innen liegenden Muttergewinde (2) in einem Sackloch, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Muttergewinde oder ein Einsatz mit Außen- und Innengewinde, welcher zwischen Schraube und Bauteil angeordnet ist, eine sich entlang mindestens eines Gewindes erstreckende Aussparung (3) aufweist, so dass das Sackloch entlüftbar ist.</p>
申请公布号 DE102014213247(A1) 申请公布日期 2015.01.15
申请号 DE201410213247 申请日期 2014.07.08
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 RAU, JOHANNES;CZAP, ALMUT;FRANZKE, ARTUR
分类号 F16B37/12 主分类号 F16B37/12
代理机构 代理人
主权项
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